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疑难解答
１－２－３
扩散工程师们在用硼源片或磷源片的时候，每隔一段时间，都会遇到一些特定问题。如果发生这种情况，我们的经验是，只要稍加修改目前的工艺参数和程序，通常能使生产过程恢复正常。考虑到这一点，我们编译了下面的表格。它列出了扩散工程师经常会遇到一些问题，它概述了这些问题的常见原因，同时也包含了一些解决问题的建议。
请注意，本公告所载资料是非常一般的，只应作为系统故障排除的指南。如果有任何问题无法解决，请与我们联系，我们会提供更多的协助。
源片问题
问题 |
可能原因 |
建议的解决方案 |
参考* |
翘曲 |
温度过高 |
使用正确的源片 |
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较高的温度梯度 |
- 减少推/拉时温度和速率
- 减少斜率
- 在“象”冷却
- 定期转动石英船
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工艺参数 |
源片与船粘合 |
(见“粘附”)
定期将源片在槽内转动 |
载体设计 |
插槽过紧 |
见“粘附” |
载体设计 |
源片之间无硅 |
使用时在源片之间放置硅 |
老化 |
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粘附
(船的碎片粘在源片上或源片的碎片粘在船上) |
温度过高 |
使用正确的源片 |
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源片老化温度过高时间过长 |
遵循推荐的老化过程 |
老化 |
载船设计错误 |
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载体设计 |
船上和插槽内B2O3 或者P2O5过量 |
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存放 |
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断裂 |
过度翘曲 |
查看“翘曲”和“粘附”相关问题 |
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源片之间无硅 |
使用时在源片之间放置硅 |
老化 |
热冲击 |
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工艺参数 |
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黑点 |
切削液问题 |
在25-100%氧气中重新老化 |
老化
硼源片的清洗
磷源片的清洗 |
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